| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мигас, Д. Б. | - |
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-14T09:46:12Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-14T09:46:12Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Мигас, Д. Б. Межсоединения элементов интегральных микросхем : учебно-методическое пособие / Д. Б. Мигас, А. Г. Черных. – Минск : БГУИР, 2020. – 70 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-564-9 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39925 | - |
| dc.description.abstract | Приведена классификация многоуровневой системы межсоединений элементов интегральных микросхем. Рассмотрены и определены методы осаждения тонкопленочных структур для металлизации ИМС. Освещены вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассмотрены различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации ИМС с медными межсоединениями.
Предназначено для студентов, изучающих дисциплины «Технология изготов-ления интегральных микросхем», «Технологические процессы микроэлектроники», «Компьютерное моделирование, расчет и проектирование изделий микро- и наноэлектроники». | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | компьютерное моделирование | ru_RU |
| dc.title | Межсоединения элементов интегральных микросхем : учебно-методическое пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
