https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39949| Title: | Исследование газодинамического потока в реакторе осаждения диэлектрических слоев на основе кремния |
| Authors: | Занько, А. И. Леонович, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;газодинамические потоки;плазмохимическое осаждение;реакторы |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Занько, А. И. Исследование газодинамического потока в реакторе осаждения диэлектрических слоев на основе кремния / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 81. |
| Abstract: | Выполнен расчет газодинамического потока в реакторе плазмохимического осаждения при расходе газа в диапазоне 10-300 см3/мин. Установлено расположение газораспределителя в реакторе для равномерного поступления реагентов к подложке. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39949 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zanko_Issledovaniye.pdf | 450.6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.