https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39964
Title: | МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия |
Authors: | Звонова, А. Д. |
Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические структуры;анодное оксидирование;индукторы |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Звонова, А. Д. МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия / Звонова А. Д. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 80. |
Abstract: | В современных устройствах беспроводной связи потребность в высокопроизводительных индукторах возрастает, поскольку они широко используются в радиочастотных интегральных схемах. Применяя традиционные технологии изготовления ИС невозможно получить компоненты с высокой добротностью (Q s >30), необходимые для обеспечения высокой избирательности в ВЧ системах связи. Объединение технологий изготовления СВЧ ИС и микросистем позволит создавать новые устройства, обладающие целым рядом достоинств: миниатюрными размерами, небольшим весом, низким уровнем потребляемой мощности, возможностью массового производства, надежностью и воспроизводимостью. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39964 |
Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Zvonova_MEMS_induktor.pdf | 309.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.