Программный модуль GUI-SUPREM III для проектирования технологии интегральных схем : метод. пособие по дисцциплине «Основы САПР в микроэлектронике» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы», I-41 01 03 «Квант. информ. системы» днев., заоч. и дистанц. форм обучения

Abstract

В пособии приведены общие сведения о программном комплексе SUPREM III для компьютерного моделирования и проектирования технологии изготовления интегральных микросхем. Описываются физические модели технологических операций микроэлектроники, используемые в программном комплексе SUPREM III, и порядок работы в среде модуля GUI-SUPREM III. Содержится подробное описание директив на выполнение моделирования и представлен пример моделирования технологии формирования структуры биполярного n-p-n транзистора. Модуль GUI-SUPREM III может использоваться в локальной компьютерной сети, а также в глобальной сети Интернет в составе специализированного программно-аппаратного комплекса.