https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40891| Title: | Получение кремния полупроводниковой чистоты. Методы выращивания монокристаллов |
| Authors: | Волков, А. М. Бекабаев, Д. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;кремний;монокристалл |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Волков, А. М. Получение кремния полупроводниковой чистоты. Методы выращивания монокристаллов / А. М. Волков, Д. Д. Бекабаев // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 304–305. |
| Abstract: | Рассмотрен способ получения кремния полупроводниковой чистоты и выращивание монокристаллов, для изготовления полупроводниковых структур, имеющих высокие требования к чистоте используемых материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40891 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Volkov_Polucheniye.pdf | 740.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.