https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41138| Title: | Моделирование лазерного формирования отверстий в неметаллических материалах |
| Authors: | Ланин, В. Л. Фам, В. Т. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерного формирования отверстий;неметаллические материалы |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | СевГУ |
| Citation: | Ланин, В. Л. Моделирование лазерного формирования отверстий в неметаллических материалах / В. Л. Ланин, В. Т. Фам // Современные проблемы радиотехники и телекоммуникаций, РТ-2019 : 15-я Международная молодежная научно-техническая конференция, Севастополь 14–18 октября 2019 г. / Севастопольский государственный университет. – Севастополь, 2019. – С. 102. |
| Abstract: | Проведено моделирование процесса лазерного формирования отверстий в кремниевой подложке толщиной 250 мкм, диаметр отверстия 0,1 — 0,2 мм. Рассмотрено влияние параметров лазерного излучения на время формирования и качество сквозного отверстия. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41138 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Modelirovaniye1.pdf | 954.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.