https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41179| Title: | Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D структур |
| Authors: | Ланин, В. Л. Лаппо, А. И. Чан, Н. Д. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерная прошивка отверстий;3D структура |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Белорусско-Российский университет |
| Citation: | Ланин, В. Л. Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D структур / В. Л. Ланин, А. И. Лаппо, Н. Д. Чан // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-техническая конференция, Могилев, 23-24 апреля 2020 г. / Белорусско-Российский университет. – Могилев, 2020. – С. 122–123. |
| Abstract: | Электронная промышленность заинтересована в создании устройств малых размеров с высокой степенью интеграции, широким набором функций и доступных по стоимости. Эффективное решение этой задачи возможно с использованием 3D структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41179 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Issledovaniye.pdf | 254.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.