https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41224
Title: | Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примеси |
Authors: | Гранько, С. В. Короткевич, А. В. |
Keywords: | публикации ученых;ионная имплантация;локальное ионное легирование;распределение Пирсона;асимметрия;эксцесс |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | Общенациональное движение «Бобек» |
Citation: | Гранько, С. В. Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примеси / С. В. Гранько, А. В. Короткевич // Global science and innovations 2020: Central Asia. Серия «Физико-математические науки». – 2020. – № 4 (9). – С. 65 – 67. |
Abstract: | Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределения примеси. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41224 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Granko_Vliyanie.pdf | 1.04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.