Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41224
Title: Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примеси
Authors: Гранько, С. В.
Короткевич, А. В.
Keywords: публикации ученых;ионная имплантация;локальное ионное легирование;распределение Пирсона;асимметрия;эксцесс
Issue Date: 2020
Publisher: Общенациональное движение «Бобек»
Citation: Гранько, С. В. Влияние моментов высокого порядка на пространственное распределение концентрации ионно-имплантированной примеси / С. В. Гранько, А. В. Короткевич // Global science and innovations 2020: Central Asia. Серия «Физико-математические науки». – 2020. – № 4 (9). – С. 65 – 67.
Abstract: Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределения примеси.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41224
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Granko_Vliyanie.pdf1.04 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.