https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41393| Title: | Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки |
| Authors: | Железнев, А. И. Хаджинов, М. К. |
| Keywords: | материалы конференций;вакуумные установки;вакуумное осаждение;технологические участки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Железнев, А. И. Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки / Железнев А. И., Хаджинов М. К. // Информационные технологии и системы 2020 (ИТС 2020) = Information Teсhnologies and Systems 2020 (ITS 2020) : материалы международной научной конференции, Минск, 18 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2020. – С. 32–33. |
| Abstract: | Рассматривается структура технологического участка вакуумной установки. Анализируется вопрос качества получаемого покрытия и методах его повышения. Выявлены экономически выгодные методы повышения качества покрытия подходящие для условий реального производства. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41393 |
| Appears in Collections: | ИТС 2020 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zheleznev_Analiz.pdf | 660.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.