Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41496
Title: Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа
Authors: Мадвейко, С. И.
Тихон, О. И.
Тодин, П. А.
Бордусов, С. В.
Достанко, А. П.
Keywords: публикации ученых;сверхвысокочастотнные разряды;кремниевые пластины;плазмотроны
Issue Date: 2020
Publisher: Белорусский национальный технический университет
Citation: Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа / Мадвейко С. И. [и др.] // Приборостроение – 2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, Минск, 18-20 ноября 2020 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2020. – С. 275–277.
Abstract: Представлено исследование влияния площади кремниевых пластин, помещённых в объём крупногабаритной плазменной камеры СВЧ плазмотрона, на особенности формирования СВЧ разряда и его временные нестабильности.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41496
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Madveyko_Issledovaniye.pdf406.4 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.