https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41749| Title: | Автоматизация технологического процесса создания окисных пленок в микроэлектронике |
| Authors: | Гомза, Е. С. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;автоматизация;технологический процесс;окисные пленки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гомза, Е. С. Автоматизация технологического процесса создания окисных пленок в микроэлектронике : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-40 80 02 / Е. С. Гомза ; науч. рук. А. Н. Шавель. – Минск : БГУИР, 2020. – 5 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41749 |
| Appears in Collections: | 1-40 80 02 Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gomza_Avtomatizaciya.pdf | 516.22 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.