https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/418| Title: | Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. формы обучения |
| Authors: | Черных, А. Г. Ригольд, С. В. |
| Keywords: | учебно-методическте пособия;гибридные интегральные схемы;маршрутная технология;технология изготовления;интегральные схемы |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. формы обучения / cост. А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2007. – 23 с. |
| Abstract: | Методические указания содержат программу по изучению дисциплины «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Маршрутная технология интегральных схем»), а также требования к выполнению и оформлению курсовой работы. Приведены вопросы для самоконтроля и рекомендуемая литература по темам дисциплины. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/418 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernih_2007.pdf | 695.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.