Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/419
Title: Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения
Authors: Черных, А. Г.
Ригольд, С. В.
Keywords: учебно-методические пособия;биполярные интегральные схемы;технология проектирования интегральных схем;ТТЛШ-элементы;полупроводниковые устройства;технологические маршруты;интегральные схемы;лабораторные работы
Issue Date: 2006
Publisher: БГУИР
Citation: Черных, А. Г. Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2006. – 35 с. : ил.
Abstract: Лабораторный практикум позволяет получить представления о технологии изготовления биполярных ИС на ТТЛШ-элементах, КМОП ИС, полупроводниковых оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) на n-канальных МОП структурах, СВЧ ИС, БиКМОП ИС, запоминающих элементов электрически стираемых программируемых постоянных запоминающих устройств (ЭСППЗУ), изучить технологические маршруты и контрольные операции после различных этапов изготовления ИС, приобрести практические навыки измерений параметров тестовых структур (ТС) и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам измерений тестовых структур (ТС).
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/419
ISBN: 985-488-016-8
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernih_teh.pdf1.35 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.