https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/419| Title: | Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения |
| Authors: | Черных, А. Г. Ригольд, С. В. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;биполярные интегральные схемы;технология проектирования интегральных схем;ТТЛШ-элементы;полупроводниковые устройства;технологические маршруты;интегральные схемы;лабораторные работы |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Черных, А. Г. Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2006. – 35 с. : ил. |
| Abstract: | Лабораторный практикум позволяет получить представления о технологии изготовления биполярных ИС на ТТЛШ-элементах, КМОП ИС, полупроводниковых оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) на n-канальных МОП структурах, СВЧ ИС, БиКМОП ИС, запоминающих элементов электрически стираемых программируемых постоянных запоминающих устройств (ЭСППЗУ), изучить технологические маршруты и контрольные операции после различных этапов изготовления ИС, приобрести практические навыки измерений параметров тестовых структур (ТС) и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам измерений тестовых структур (ТС). |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/419 |
| ISBN: | 985-488-016-8 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernih_teh.pdf | 1.35 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.