https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41988| Title: | МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия |
| Authors: | Кушнер, А. Д. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;МЭМС-индукторы;анодный оксид алюминия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кушнер, А. Д. МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия / Кушнер А. Д., Короткевич А. В. // Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2020 : материалы Республиканской научно-практической конференции, Минск, 28-29 октября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – С. 307-308. |
| Abstract: | В работе рассматривается технология изготовления МЭМС-индуктора на основе анодного оксида алюминия. Предложена модифицированная геометрия индуктора соленоидного типа с использованием технологии поверхностной микрообработки. |
| Alternative abstract: | The paper discusses the technology of manufacturing a MEMS inductor based on anodic aluminum oxide. A modified geometry of a solenoid-type inductor using surface micromachining technology is proposed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41988 |
| Appears in Collections: | Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2020 : Республиканская научно-практическая конференция |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kushner_MEMS_induktor.pdf | 609.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.