Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42317
Title: Повышение механических характеристик кремний-углеродных покрытий методом ионного азотирования структуры
Authors: Руденков, А. С.
Рогачев, А. В.
Завадский, С. М.
Голосов, Д. А.
Лучников, П. А.
Keywords: публикации ученых;углеродные покрытия;фазовый состав;ионно - лучевое распыление;коэффициент трения
Issue Date: 2020
Publisher: Издательство "Радиотехника"
Citation: Повышение механических характеристик кремний-углеродных покрытий методом ионного азотирования структуры / А. С. Руденков [и др.] // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. – 2020. – Т. 12, № 1. – С. 22–28.
Abstract: Ионное азотирование наноразмерных углеродных покрытий позволяет управлять их структурой и свойствами. Введение в объем углеродных покрытий азота небольших концентрациий может способствовать образованию твердых фаз внедрения на основе CNx, а значит и влиять на механические свойства покрытия. Изучение механизмов химического взаимодействия процессов формирования кремний-углеродных покрытии при распылении карбида кремния в смеси азота и аргона с образованием твердых карбидных и нитридных фаз является актуальной задачей. Цель ‒ исследование структуры и механических свойств кремний-углеродных покрытий, осаждаемых из газовой фазы в условиях ионного азотирования. Установлено, что введение азота в состав рабочего газа (Ar57%+N43%) приводит к формированию более высокодисперсной структуры чем в среде аргона. Наблюдается снижение концентрации углерода при увеличении концентрации кислорода из-за окисления кремния и углерода с последующей десорбцией соединений углерода и кислорода. Высокотемпературный температурный отжиг приводит к увеличению термостабильности коэффициента трения углеродных покрытий. Результаты исследований позволяют путем изменения технологическим режимом азотирования структуры покрытия формировать их с заданными механическими свойствами.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42317
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Rudenkov_Povysheniye.pdf657.03 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.