https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42412| Title: | Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Строгова, Н. С. |
| Keywords: | материалы конференций;кристаллические структуры;нанокластеры;нанопленки |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ковалевский, А. А. Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Ковалевский А. А., Строгова А. С., Строгова Н. С. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 80. |
| Abstract: | Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры плѐнок ПКК (Ge), полученных, разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Этот процесс в сочетании с пост окислением рассматривался в качестве альтернативной, более «чистой» технологии, позволяющей сформировать нанокластеры германия и сплава кремний-германий отличные по структуре и размерах. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42412 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Osobennosti.pdf | 76.33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.