Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42416
Title: Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС
Authors: Лазарук, С. К.
Долбик, А. В.
Лабунов, В. А.
Keywords: материалы конференций;защита информации;системы защиты информации;наноструктурированные материалы;микроэлектромеханические системы
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Лазарук, С. К. Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС / Лазарук С. К., Долбик А. В., Лабунов В. А. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 70–71.
Abstract: Разработан технологический маршрут изготовления саморазрушающейся микроэлектромеханической системы на основе пористого кремния, которая может являться элементом системы защиты информации на цифровых носителях.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42416
Appears in Collections:ТСЗИ 2011

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lazaruk_Ispolzovaniye.pdf148.96 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.