https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42551| Title: | Исследование распределения скорости нанесения тонких пленок методом перемещаемого зонда |
| Authors: | Аюпов, В. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкие плёнки;метод перемещаемого зонда |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аюпов, В. А. Исследование распределения скорости нанесения тонких пленок методом перемещаемого зонда : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / В. А. Аюпов ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2020. – 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42551 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ayupov_Issledovanie.pdf | 890.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.