https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42554| Название: | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию |
| Авторы: | Емельянов, В. В. |
| Ключевые слова: | авторефераты диссертаций;плазмохимическое травление;нитрид кремния;поликристаллический кремний |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Емельянов, В. В. Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / В. В. Емельянов ; науч. рук. С. В. Бордусов. – Минск : БГУИР, 2020. – 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42554 |
| Располагается в коллекциях: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Tehnologiya.pdf | 727.85 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.