| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T08:17:10Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-18T08:17:10Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. В. Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / В. В. Емельянов ; науч. рук. С. В. Бордусов. – Минск : БГУИР, 2020. – 6 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42554 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое травление | ru_RU |
| dc.subject | нитрид кремния | ru_RU |
| dc.subject | поликристаллический кремний | ru_RU |
| dc.title | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
