https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42554| Title: | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию |
| Authors: | Емельянов, В. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;плазмохимическое травление;нитрид кремния;поликристаллический кремний |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Емельянов, В. В. Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / В. В. Емельянов ; науч. рук. С. В. Бордусов. – Минск : БГУИР, 2020. – 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42554 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Tehnologiya.pdf | 727.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.