| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Костюкевич, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-19T07:42:56Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-19T07:42:56Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие / С. В. Бордусов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – 63 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-571-7 (ч. 1). | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607 | - |
| dc.description.abstract | Содержит лабораторные работы по изучению процессов, оборудования и технологической оснастки ионно-лучевого лужения металлов, удаления фоторезиста в плазме микроволнового разряда, термической обработки ИК-излучением и электро-эрозионной обработки материалов электронной техники.
Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием, специализированной оснасткой и измерительными приборами для производства изделий микроэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | электронно-оптические системы | ru_RU |
| dc.subject | электронная техника | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
