https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607
Название: | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие |
Авторы: | Бордусов, С. В. Лушакова, М. С. Мадвейко, С. И. Костюкевич, А. А. Телеш, Е. В. |
Ключевые слова: | учебно-методические пособия;электронно-оптические системы;электронная техника;микроэлектроника |
Дата публикации: | 2020 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие / С. В. Бордусов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – 63 с. : ил. |
Аннотация: | Содержит лабораторные работы по изучению процессов, оборудования и технологической оснастки ионно-лучевого лужения металлов, удаления фоторезиста в плазме микроволнового разряда, термической обработки ИК-излучением и электро-эрозионной обработки материалов электронной техники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием, специализированной оснасткой и измерительными приборами для производства изделий микроэлектроники. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607 |
ISBN: | 978-985-543-571-7 (ч. 1). |
Располагается в коллекциях: | Кафедра электронной техники и технологии |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Bordusov_2020.pdf | 3.63 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.