https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607| Title: | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие |
| Authors: | Бордусов, С. В. Лушакова, М. С. Мадвейко, С. И. Костюкевич, А. А. Телеш, Е. В. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;электронно-оптические системы;электронная техника;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие / С. В. Бордусов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – 63 с. : ил. |
| Abstract: | Содержит лабораторные работы по изучению процессов, оборудования и технологической оснастки ионно-лучевого лужения металлов, удаления фоторезиста в плазме микроволнового разряда, термической обработки ИК-излучением и электро-эрозионной обработки материалов электронной техники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием, специализированной оснасткой и измерительными приборами для производства изделий микроэлектроники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607 |
| ISBN: | 978-985-543-571-7 (ч. 1). |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bordusov_2020.pdf | 3.63 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.