Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607
Title: Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие
Authors: Бордусов, С. В.
Лушакова, М. С.
Мадвейко, С. И.
Костюкевич, А. А.
Телеш, Е. В.
Keywords: учебно-методические пособия;электронно-оптические системы;электронная техника;микроэлектроника
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Физико-технические основы разработки технологических модулей электронно-оптических систем. Лабораторный практикум. В 2 ч. Ч. 1 : Физико-технические основы процессов электрофизической обработки материалов : пособие / С. В. Бордусов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – 63 с. : ил.
Abstract: Содержит лабораторные работы по изучению процессов, оборудования и технологической оснастки ионно-лучевого лужения металлов, удаления фоторезиста в плазме микроволнового разряда, термической обработки ИК-излучением и электро-эрозионной обработки материалов электронной техники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием, специализированной оснасткой и измерительными приборами для производства изделий микроэлектроники.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42607
ISBN: 978-985-543-571-7 (ч. 1).
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bordusov_2020.pdf3.63 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.