Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Патенты
  3. Полезные модели
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42865
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.contributor.authorМельников, С. Н.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.date.accessioned2021-02-05T06:21:39Z-
dc.date.available2021-02-05T06:21:39Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationСистема контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распылении : пат. 10422 U Респ. Беларусь : МПК (2006) G 01N 27/07, C 23C 14/34 / Достанко А. П., Мельников С. Н., Голосов Д. А., Завадский С. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № u 20131093 ; заявл. 20.12.2013 ; опубл. 30.12.2014. – 3 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42865-
dc.description.abstractСистема контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распылении, содержащая датчики скорости осаждения и плотности тока заряженных частиц, систему линейного перемещения с электродвигателем, генератор и блок измерения частоты, усилитель-формирователь сигнала датчика плотности тока, аналого-цифровой преобразователь и персональный компьютер, отличающаяся тем, что датчики скорости осаждения и плотности тока заряженных частиц размещены на системе линейного перемещения с электродвигателем.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherНациональный центр интеллектуальной собственностиru_RU
dc.subjectпатентыru_RU
dc.subjectионно-плазменное распылениеru_RU
dc.subjectосаждение материаловru_RU
dc.subjectэлектродвигателиru_RU
dc.titleСистема контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распыленииru_RU
dc.title.alternativeПат. 10422 U Респ. Беларусьru_RU
dc.typeДругоеru_RU
Appears in Collections:Полезные модели

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
10422.pdf208.8 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.