https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42865| Title: | Система контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распылении |
| Other Titles: | Пат. 10422 U Респ. Беларусь |
| Authors: | Достанко, А. П. Мельников, С. Н. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. |
| Keywords: | патенты;ионно-плазменное распыление;осаждение материалов;электродвигатели |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Система контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распылении : пат. 10422 U Респ. Беларусь : МПК (2006) G 01N 27/07, C 23C 14/34 / Достанко А. П., Мельников С. Н., Голосов Д. А., Завадский С. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № u 20131093 ; заявл. 20.12.2013 ; опубл. 30.12.2014. – 3 с. : ил. |
| Abstract: | Система контроля распределения скорости осаждения материала и плотности тока заряженных частиц при ионно-плазменном распылении, содержащая датчики скорости осаждения и плотности тока заряженных частиц, систему линейного перемещения с электродвигателем, генератор и блок измерения частоты, усилитель-формирователь сигнала датчика плотности тока, аналого-цифровой преобразователь и персональный компьютер, отличающаяся тем, что датчики скорости осаждения и плотности тока заряженных частиц размещены на системе линейного перемещения с электродвигателем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42865 |
| Appears in Collections: | Полезные модели |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.