Исследование  наноструктуры  поверхности  тонких пленок  сплавов  Al‒Mn и Al‒Ni  на  стеклянных  подложках

Ташлыкова-Бушкевич, И. И.; Измайлович, А. С.; Столяр, И. А.; Денисов, В. А.; Деркач, А. В.; Tashlykova-Bushkevich, I. I.; Izmailovich, A. S.; Stoliar, I. А.; Denisov, V. A.; Derkach, A. V.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42891

Title:	Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках
Other Titles:	Study of surface nanostructure of thin films of Al-Mn and Al-Ni alloys on glass substrates
Authors:	Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Измайлович, А. С. Столяр, И. А. Денисов, В. А. Деркач, А. В. Tashlykova-Bushkevich, I. I. Izmailovich, A. S. Stoliar, I. А. Denisov, V. A. Derkach, A. V.
Keywords:	публикации ученых;ионно - ассистированное осаждение;сканирующая зондовая микроскопия;ion-assisted deposition;scanning probe microscopy
Issue Date:	2020
Publisher:	БГУ
Citation:	Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al-Mn и Al-Ni на стеклянных подложках = Study of surface nanostructure of thin films of Al-Mn and Al-Ni alloys on glass substrates / И. И. Ташлыкова-Бушкевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : сборник научных трудов IX Международной научной конференции, Минск, 14–16 октября 2020 г. / Белорусский государственный университет. – Минск, 2020. – С. 398–401.
Abstract:	Методами сканирующей зондовой микроскопии и растровой электронной микроскопии исследована наноструктура поверхности пленок сплавов Al‒2,1 ат. % Mn и Al‒1,4 ат. % Ni, сформированных осаждением покрытия на стеклянную подложку при ассистировании собственными ионами. Установлено, что при легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок снижается. Обнаружено, что параметры шероховатости пленок коррелируют с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции.
Alternative abstract:	Surface nanostructure of films of Al‒2.1 at.% Mn and Al‒1.4 at.% Ni alloys has been investigated by means of scanning probe microscopy and scanning electron microscopy. It is obtained that alloying of aluminum results in the reduction of the level of surface morphological heterogeneity of films. Roughness parameters of films are correlated with size and density of microparticles of droplet fraction.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42891
Appears in Collections:	Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Tashlykova_Bushkevich_Issledovaniye.pdf		421.85 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar