Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42926
Название: Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа
Другие названия: Пат. 17144 Респ. Беларусь
Авторы: Циркунова, Н. Г.
Борисенко, В. Е.
Ключевые слова: патенты;сканирующая зондовая микроскопия;сканирующие зондовые микроскопы;нанометрология
Дата публикации: 2013
Издательство: Национальный центр интеллектуальной собственности
Описание: Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа : пат. 17144 Респ. Беларусь : МПК (2010) G 01Q 40/00 / Циркунова Н. Г., Борисенко В. Е. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20091731 ; заявл. 30.08.2011 ; опубл. 30.06.2013. – 5 с. : ил.
Аннотация: Способ определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, в котором сканируют контролируемым зондом многослойный выступ рельефной поверхности структуры пирамидальной или конусообразной формы с заданным количеством слоев равной толщины T, составляющей от 5 до 50 нм для каждого слоя, и постоянным углом при основании от 65 до 80 °, получают полосчатое изображение указанной структуры, а затем определяют искомый радиус R в соответствии с выражением kT 5,1 R = , где k - число, равное разности количества просканированных слоев указанного выступа и количества полос на указанном изображении. Устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, представляющее собой структуру с рельефной поверхностью, каждый элемент которой выполнен с постоянным углом при основании, отличающееся тем, что каждый указанный элемент выполнен в виде многослойного выступа пирамидальной или конусообразной формы с равной толщиной слоев, составляющей от 5 до 50 нм, и углом при основании от 65 до 80 ° для образования шкалы с дискретностью, определяемой толщиной слоя.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42926
Располагается в коллекциях:Изобретения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
17144.pdf1.24 MBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание Просмотр статистики Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.