Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42926
Title: Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа
Other Titles: Пат. 17144 Респ. Беларусь
Authors: Циркунова, Н. Г.
Борисенко, В. Е.
Keywords: патенты;сканирующая зондовая микроскопия;сканирующие зондовые микроскопы;нанометрология
Issue Date: 2013
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности, РБ
Citation: Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа : пат. 17144 Респ. Беларусь : МПК (2010) G 01Q 40/00 / Циркунова Н. Г., Борисенко В. Е. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20091731 ; заявл. 30.08.2011 ; опубл. 30.06.2013. – 5 с. : ил.
Abstract: Способ определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, в котором сканируют контролируемым зондом многослойный выступ рельефной поверхности структуры пирамидальной или конусообразной формы с заданным количеством слоев равной толщины T, составляющей от 5 до 50 нм для каждого слоя, и постоянным углом при основании от 65 до 80 °, получают полосчатое изображение указанной структуры, а затем определяют искомый радиус R в соответствии с выражением kT 5,1 R = , где k - число, равное разности количества просканированных слоев указанного выступа и количества полос на указанном изображении. Устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, представляющее собой структуру с рельефной поверхностью, каждый элемент которой выполнен с постоянным углом при основании, отличающееся тем, что каждый указанный элемент выполнен в виде многослойного выступа пирамидальной или конусообразной формы с равной толщиной слоев, составляющей от 5 до 50 нм, и углом при основании от 65 до 80 ° для образования шкалы с дискретностью, определяемой толщиной слоя.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42926
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
17144.pdf1.24 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.