Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа

Abstract

Способ определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, в котором сканируют контролируемым зондом многослойный выступ рельефной поверхности структуры пирамидальной или конусообразной формы с заданным количеством слоев равной толщины T, составляющей от 5 до 50 нм для каждого слоя, и постоянным углом при основании от 65 до 80 °, получают полосчатое изображение указанной структуры, а затем определяют искомый радиус R в соответствии с выражением kT 5,1 R = , где k - число, равное разности количества просканированных слоев указанного выступа и количества полос на указанном изображении. Устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа, представляющее собой структуру с рельефной поверхностью, каждый элемент которой выполнен с постоянным углом при основании, отличающееся тем, что каждый указанный элемент выполнен в виде многослойного выступа пирамидальной или конусообразной формы с равной толщиной слоев, составляющей от 5 до 50 нм, и углом при основании от 65 до 80 ° для образования шкалы с дискретностью, определяемой толщиной слоя.