https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42947| Title: | Полупроводниковый газовый сенсор |
| Other Titles: | Пат. 19241 Респ. Беларусь |
| Authors: | Врублевский, И. А. Чернякова, Е. В. Паркун, В. М. |
| Keywords: | патенты;газовые сенсоры;полупроводниковые сенсоры;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Полупроводниковый газовый сенсор : пат. 19241 Респ. Беларусь : МПК (2006) G 01N 27/12 / Врублевский И. А., Чернякова Е. В., Паркун В. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20121308 ; заявл. 30.04.2014 ; опубл. 30.06.2015. – 4 с. : ил. |
| Abstract: | Полупроводниковый газовый сенсор, содержащий кремниевую подложку с выполненной на ней мембраной на основе нитрида кремния, над которыми расположен тонкий подслой анодного оксида тантала, сформированного под пористым слоем анодного оксида алюминия, на котором последовательно сформированы пленочный нагревательный элемент, пленочные электроды и газочувствительный слой, причем толщина подслоя анодного оксида тантала составляет от 0,02 до 0,05 мкм. 2. Сенсор по п. 1, отличающийся тем, что пленочный нагревательный элемент и пле- ночные электроды для газочувствительного слоя выполнены из платины. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42947 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.