Миниатюрный твердотопливный реактивный двигатель и способ его изготовления

Abstract

1. Миниатюрный твердотопливный реактивный двигатель, изготавливаемый по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) из монокристаллического кремния,состоящий из объединенных в матрицу модулей, каждый из которых включает блоки, содержащие камеру сгорания, заполненную топливом, сопло и устройство поджига топлива, отличающийся тем, что каждая камера сгорания и сопло выполнены в виде единого блока, содержащего два одинаковых элемента, каждый из которых включает половину камеры сгорания и сопла, а устройство поджига топлива выполнено в виде отдельного модуля, расположенного с торца блока камеры сгорания и сопла со стороны камеры сгорания. 2. Способ изготовления миниатюрного твердотопливного реактивного двигателя по п.1, при котором каждый блок камеры сгорания и сопла собирают посредством непосредственного термокомпрессионного соединения двух одинаковых профилированных элементов профилированными сторонами друг к другу, каждый из которых включает в себя половину камеры сгорания и сопла, причем каждый упомянутый элемент изготавливают одновременно в объеме одной пластины монокристаллического кремния с дырочным либо электронным типом проводимости, удельным сопротивлением от 0,005 до 20 Ом·см, кристаллографической ориентацией (100), или (111), или (110) и толщиной до 1 мм посредством создания углублений по рисунку, заданному фотолитографической маской, посредством формирования слоя пористого кремния с последующим его жидкостным химическим травлением либо методом анизотропного химического травления в щелочном растворе и вырезают из пластины монокристаллического кремния посредством сквозной резки пластины, а устройство поджига топлива изготавливают на другой пластине монокристаллического кремния дырочного либо электронного типа проводимости произвольных удельного сопротивления, кристаллографической ориентации и толщины в виде расположенных на тонком слое диэлектрического материала тонкопленочных резисторов из поликристаллического кремния с геометрией, заданной селективным травлением через фотолитографическую маску, электрический контакт к которым осуществляют посредством слоя металлизации с конфигурацией, заданной травлением слоя металла через другую фотолитографическую маску, вырезают из пластины монокристаллического кремния посредством сквозной резки пластины и присоединяют полученные устройства поджига то- плива к блоку камеры сгорания и сопла со стороны камеры сгорания. 3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что каждую камеру сгорания заполняют топливом, в качестве которого применяют жидкий полимеризуемый состав, со стороны камеры сгорания до подсоединения модуля устройства поджига топлива при помощи иглообразного инжектора таким образом, чтобы вдоль оси симметрии камеры сгорания оставался свободный от топлива канал. 4. Способ по п. 2, отличающийся тем, что модули блоков камеры сгорания и сопла и модули устройств поджига топлива соединяют в матрицу произвольной размерности путем последовательного соединения профилированных сторон модулей посредством непосредственного термокомпрессионного соединения либо через промежуточный слой силиката натрия, или оксида кремния, или нитрида кремния, или алюминия, или клея.