Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43187
Title: Золь-гель синтез пленок титаната бария и титаната стронция для применения в структурах нанофотоники и микроэлектроники
Authors: Холов, П. А.
Keywords: авторефераты диссертаций
золь-гель метод
пленки титаната бария
пленки титаната стронция
нанофотоника
микроэлектроника
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Холов, П. А. Золь-гель синтез пленок титаната бария и титаната стронция для применения в структурах нанофотоники и микроэлектроники : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / П. А. Холов ; науч. рук. Н. В. Гапоненко. – Минск : БГУИР, 2020. – 27 с.
Abstract: В настоящее время интенсивно развиваются технологии формирования одномерных, двумерных и трехмерных фотонных кристаллов – структур с периодически изменяющимся показателем преломления с периодом порядка длины волны электромагнитного излучения видимого диапазона. Брэгговская дифракция света на таких периодических структурах приводит к появлению фотонной запрещенной зоны – полосы непрозрачности в определенном диапазоне энергии излучения. Технология формирования одномерных фотонных кристаллов развивается для разработки интерференционных фильтров и микрорезонаторов. Для формирования фотонных кристаллов и микрорезонаторов требуется чередование пленок из материалов, отличающихся показателями преломления, а также контроль толщины пленок. Проводятся исследования свойств материалов, способов легирования люминесцирующими примесями, методов формирования многослойных структур нанофотоники. Среди методов формирования тонких пленок, позволяющих контролировать толщину слоев, значительный интерес вызывает золь-гель метод. Практически не исследовалась возможность применения золь-гель метода формирования пленок титаната бария для получения фотонных кристаллов оптического диапазона. Свойства пленок титаната бария и титаната стронция более изучены для применения в микроэлектронике, чем в фотонике. Титанат бария и титанат стронция обладают высокими значениями диэлектрической проницаемости, титанат бария является сегнетоэлектриком. Титанат стронция исследуется для разработки мемристоров и фоточувствительных структур. Диэлектрическая проницаемость, показатель преломления и ширина запрещенной зоны пленок титаната бария, титаната стронция и других перовскитов зависят от способов и режимов их формирования, что следует учитывать при разработке структур твердотельной электроники и нанофотоники на их основе.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43187
Appears in Collections:05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) (техническая и физико-математическая отрасли науки)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kholov_Zol_gel.pdf2.11 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.