Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона

Abstract

Повышение технических требований к эксплуатационным свойствам оптических изделий с одновременным расширением областей применения индикаторных устройств, а также широкое внедрение оптических элементов в изделия гражданской и военной техники способствуют развитию технологий формирования защитных покрытий. Легко повреждаемые функциональные слои на оптических покрытиях электронных устройств защищаются от загрязнений, механических воздействий, неблагоприятного химического воздействия при помощи модифицирования защитными гидрофобными и сверхгидрофобными покрытиями. Развитие технологий изготовления наноматериалов способствует использованию в качестве защитных покрытий наноструктур оксида кремния, модифицированных пленками фторорганических полимеров. Данные наноразмерные структуры позволяют достичь высоких эксплуатационных характеристик, а улучшение их временной устойчивости к деградации обеспечивает долговременную стабильность при хранении и эксплуатации, что, однако, требует разработки новых технологий и оборудования. В работе представлены исследования методов изготовления покрытий оксида кремния с наноструктурированной поверхностью, которая модифицирована нанометровыми пленками фторорганического полимера; взаимосвязанность структурной организации покрытий с их эксплуатационными свойствами и технологическими режимами их формирования.