| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лях, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-05-05T13:33:12Z | - |
| dc.date.available | 2021-05-05T13:33:12Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Лях, А. С. Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники = Analysis of construction solutions of plasma reactors used in production of electronic technique / А. С. Лях // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 210–213. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43465 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены конструктивно-технические особенности построения объемных плазменных ректоров используемых при производстве изделий электронной техники. Проведен анализ реакторов для плазмохимической обработки материалов микро- и наноэлектроники. The design and technical features of the construction of plasma reactors used in the manufacture of electronic technique are considered. The analysis of reactors for plasma-chemical processing of micro and nanoelectronic materials has been carried out. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ плазма | ru_RU |
| dc.subject | плазмотроны | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое травление | ru_RU |
| dc.subject | microwave plasma | ru_RU |
| dc.subject | plasmatrons | ru_RU |
| dc.subject | plasma chemical etching | ru_RU |
| dc.title | Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники | ru_RU |
| dc.title.alternative | Analysis of construction solutions of plasma reactors used in production of electronic technique | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
