| Title: | Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники |
| Other Titles: | Analysis of construction solutions of plasma reactors used in production of electronic technique |
| Authors: | Лях, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ плазма;плазмотроны;плазмохимическое травление;microwave plasma;plasmatrons;plasma chemical etching |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лях, А. С. Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники = Analysis of construction solutions of plasma reactors used in production of electronic technique / А. С. Лях // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 210–213. |
| Abstract: | Рассмотрены конструктивно-технические особенности построения объемных плазменных ректоров используемых при производстве изделий электронной техники. Проведен анализ реакторов для плазмохимической обработки материалов микро- и наноэлектроники. The design and technical features of the construction of plasma reactors used in the manufacture of electronic technique are considered. The analysis of reactors for plasma-chemical processing of micro and nanoelectronic materials has been carried out. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43465 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
