| Title: | Исследование оптических параметров пленок нитрида углерода |
| Other Titles: | Study of optical parameters of carbon nitride films |
| Authors: | Романович, Я. Г. |
| Keywords: | материалы конференций;нитриды углерода;ионный пучок;carbon nitrides;ion beam |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Романович, Я. Г. Исследование оптических параметров пленок нитрида углерода = Study of optical parameters of carbon nitride films / Я. Г. Романович // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 242–243. |
| Abstract: | Исследовано влияние состава рабочего газа и температуры подложки на оптическое пропускание и ширину запрещенной зоны пленок нитрида углерода, полученных прямым осаждением из ионных пучков метана и азота. Установлено, что увеличение парциального давления азота привело к увеличению пропускания. Установлено, что нагрев свыше 373 К приводит к снижению пропускания. Максимальное пропускание на λ=555 нм составило ~ 68 %. Ширина запрещенной зоны составила 2,48–2,51 эВ и возрастала при повышении температуры конденсации. The effect of the composition of the working gas and the substrate temperature on the optical transmission and band gap of carbon nitride films obtained by direct deposition from ion beams of methane and nitrogen is investigated. It was found that an increase in the partial pressure of nitrogen led to an increase in transmission. It was found that heating above 373 K leads to a decrease in transmission. The maximum transmission at λ = 555 nm was ~ 68%. The band gap was 2.48–2.51 eV and increased with increasing condensation temperature |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43490 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
