| Title: | Оптическая система ГУФ диапазона для инспекционного микроскопа |
| Other Titles: | Optical system DUV range for inspection microscope |
| Authors: | Сербин, И. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;оптические микроскопы;инспекционные микроскопы;микроэлектроника;optical microscopes;inspection microscopes;microelectronics |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сербин, И. Н. Оптическая система ГУФ диапазона для инспекционного микроскопа = Optical system DUV range for inspection microscope / И. Н. Сербин // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 256–258. |
| Abstract: | Рассмотрено оптико-механическое устройство для оптических микроскопов для повышение разрешающей способности. An optical-mechanical device for optical microscopes for increasing the resolution is considered. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43499 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
