https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43818| Title: | Обобщенная архитектура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения |
| Other Titles: | General design of software control system for equipment of critical sizes inspection on the basis of computer vision |
| Authors: | Аваков, С. М. Дудкин, А. А. Воронов, А. А. Ганченко, В. В. Рымко, В. М. Шоломицкий, В. Г. |
| Keywords: | публикации ученых;материалы конференций;обработка изображений;СБИС;автоматический контроль топологии;архитектура программного комплекса;контрольно-измерительное оборудование;компьютерное зрение;image processing;VLSI;automatic layout inspection;software complex architecture;control and measurement equipment;computer vision |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Бестпринт |
| Citation: | Обобщенная архитектура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения / С. М. Аваков [и др.] // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : сборник научных статей VII Международной научно-практической конференции, Минск, 19-20 мая 2021 года / редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : Бестпринт, 2021. – С. 82 – 90. |
| Abstract: | В данной работе описываются функции и структура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения. Описаны преимущества разработанной архитектуры, а также ее использование для решения задач анализа изображений микросхем с помощью оборудования автоматического контроля топологии. Применение описанной архитектуры программного комплекса позволяет эффективно идентифицировать дефекты, что особенно важно для разработки программного обеспечения установок контроля топологии СБИС по субмикронным нормам. |
| Alternative abstract: | This paper describes the functions and the architecture of software control system for equipment of critical sizes inspection of integrated circuit layouts on the basis of computer vision. The advantages of the developed architecture are described, as well as its application for image processing of integrated circuit layouts. The system allows identifying effectively defects what it is especially important for VLSI manufacturing based on submicron technology. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43818 |
| ISBN: | 978-985-7267-09-5 |
| Appears in Collections: | BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : сборник научных статей (2021) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Avakov_Obobshchennaya.pdf | 1.22 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.