https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44401| Title: | Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло |
| Authors: | Шекелевский, В. В. Бездников, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронные распылительные системы;Монте-Карло метод |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шекелевский, В. В. Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло / Шекелевский В. В., Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 129–131. |
| Abstract: | В работе представлена методика оценки геометрии профиля зоны эрозии мишени исходя из определения пространственного распределения электронов над поверхностью мишени методом Монте-Карло частиц. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44401 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shekelevskiy_Otsenka.pdf | 669.36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.