| Title: | Система управления перемещением подложек в вакуумном оборудовании |
| Authors: | Кожемякин, Е. А. |
| Keywords: | материалы конференций;вакуумное оборудование;схемотехника |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кожемякин, Е. А. Система управления перемещением подложек в вакуумном оборудовании / Е. А. Кожемякин // Информационные технологии и управление : материалы 57-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов по направлению 2, Минск, 19-23 апреля 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2021. – С. 181. |
| Abstract: | В современной промышленности широкое применение находят вакуумные устройства для
изготовления различных элементов схемотехники. Особенностью управления такими устройствами является то, что необходимо поддерживать вакуум для проведения технологических
процессов. Для того, чтобы уменьшить время на достижение вакуума, в вакуумном оборудовании
устанавливают несколько камер, с герметичными заслонками. Таким образом, для загрузки-
выгрузки заготовок не обязательно развакуумировать все камеры, если применить систему
управления перемещением подложек, которая в условиях вакуума будет доставлять подложку в
указанную камеру. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44646 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
