| Title: | Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» |
| Authors: | Швец, А. А. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектроника;технологические маршруты;программные модули;ATHENA |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Швец, А. А. Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» / Швец А. А. // Актуальные вопросы профессионального образования = Аctual issues of professional education : тезисы докладов IV Международной научно-практической конференции, Минск, 20–21 мая 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: С. Н. Анкуда [и др.]. – Минск, 2021. – С. 203–205. |
| Abstract: | В статье рассмотрены функциональные возможности пакета ATHENA для проектирования и моделирования как полного технологического маршрута изготовления изделий микроэлектроники, так и отдельных операций. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703 |
| Appears in Collections: | Актуальные вопросы профессионального образования : материалы 4 Международной научно-практической конференции (2021)
|
