https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45005| Title: | Прецизионная лазерная обработка структур для сборки 2,5D- и 3D-интегрированных модулей |
| Authors: | Петухов, И. Б. Ретюхин, Г. Е. Ланин, В. Л. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерная обработка;прецизионная обработка;импульсные лазеры |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Политехпериодика |
| Citation: | Петухов, И. Б. Прецизионная лазерная обработка структур для сборки 2,5D- и 3D-интегрированных модулей / Петухов И. Б., Ретюхин Г. Е., Ланин В. Л. // Современные информационные и электронные технологии : материалы Международной научно-практической конференции, Одесса, 24–28 мая 2021 г. – Одесса : Политехпериодика, 2021. – С. 41–42. |
| Abstract: | Исследованы возможности ультрафиолетового волоконного наносекундного импульсного лазера с длиной волны 355 нм и пиковой энергией в импульсе 10 мкДж для сверления отверстий и скрайбирования (резки) подложек-интерпозеров из различных материалов (кремний, карбид кремния, сапфир, стекло и др.) толщиной до 400 мкм для создания 2,5D- и 3D-интегрированных модулей. Экспериментально установлено, что при достигнутой плотности мощности излучения порядка 13,2·10 9 Вт/см 2обеспечивается абляция поверхности на уровне выпаривания материала, что повышает качество обработки при выполнении операций сверления, резки и подгонки полупроводниковых структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45005 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Petukhov_Pretsizionnaya.pdf | 798.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.