Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45295
Title: Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации
Authors: Емельянов, В. А.
Пономарь, В. Н.
Чигирь, Г. Г.
Keywords: доклады БГУИР;оптические микроскопы;микросхемы;цифровая оптическая микроскопия;защита информации;информационная безопасность
Issue Date: 2005
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Емельянов, В. А. Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации / Емельянов В. А., Пономарь В. Н., Чигирь Г. Г. // Доклады БГУИР. – 2005. – № 5. – С. 73–74.
Abstract: В данной работе показана возможность использования оптических микроскопов улучшенной конструкции для обеспечения операционного контроля в технологии субмикронных микросхем. Для получения высококачественных оцифрованных изображений элементов сформирован цифровой оптический микроскоп на основе микроскопа ф. Leica INM100 с набором высокоразрешающих объективов PL APO (1,6×, 2,5×, 5×, 10×, 20×, 50×, 100×, 150×), прецизионным сканирующим столиком LSTEP13, цифровой камерой Polaroid DMC Ie с разрешением матрицы 1600×1200 пикселей, управляющим компьютером на платформе Windows с интерфейсом SCSI-II.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45295
Appears in Collections:№ 5

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emeliyanov_Tsifrovaya.pdf195.48 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.