https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45347| Title: | Микротопливные элементы на основе пористого кремния |
| Authors: | Алексеев, В. Ф. Волчек, С. А. Прошкина, А. А. |
| Keywords: | материалы конференций;микротопливные элементы;пористый кремний |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Алексеев, В. Ф. Микротопливные элементы на основе пористого кремния / В. Ф. Алексеев, С. А. Волчек, А. А. Прошкина // Технические средства защиты информации : материалы докладов и краткие сообщения VI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 21-22 мая, 2008 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Ф. Голиков [и др.]. – Минск, 2008. – С. 83–84. |
| Abstract: | Процесс изготовления макропористых слоев кремния имеет ряд особенностей: электрохимическое травление (анодирование) кремния в растворе плавиковой кислоты; "вскрытие пор" для получения пластины со сквозными каналами; аттестация пористых кремниевых слоев, т.е. характеризация образцов по таким параметрам, как общая и удельная площади внутренней поверхности пористой части кремниевого электрода. Рассмотрены микротопливные элементы на основе пористого кремния, их свойства и характеристики. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45347 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2008 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Alekseyev_Mikropolosnyye.pdf | 148.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.