https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45391| Title: | Гидродинамические особенности электрохимической металлизации рельефных микроповерхностей |
| Authors: | Столер, В. А. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектроника;ультразвуковая технология |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Столер, В. А. Гидродинамические особенности электрохимической металлизации рельефных микроповерхностей / В. А. Столер // Технические средства защиты информации : материалы докладов и краткие сообщения VI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 21-22 мая, 2008 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Ф. Голиков [и др.]. – Минск, 2008. – С. 73. |
| Abstract: | К числу перспективных технологий микроэлектроники, позволяющих создавать рельефные поверхности сложного профиля, относится ультразвуковая технология, связанная с обработкой ультразвуком технологических сред при проведении электрохимических процессов получения тонких пленок металлов. При этом основной акцент ставится на существенное изменение гидродинамики электролита в приповерхностной зоне обрабатываемых тонкопленочных структур микро- и субмикронных размеров. Описаны результаты исследования закономерности микрораспределения меди в контрольных точках модельных образцов, и их применение на практике в получении осадка меди. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45391 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2008 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Stoler_Gidrodinamicheskiye.pdf | 135.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.