Теплоперенос в многослойной системе при импульсном нагреве

Abstract

Приводится частное аналитическое решение задачи теплопроводности для многослойной системы интегральной схемы при импульсном источнике тепла, действующего на поверхности. С помощью линейного преобразования координат задача сводится к изотропному теплопереносу, описываемому уравнением Лапласа, которое решается преобразованиями Фурье. Полученное решение удобно использовать при оценке средней температуры слоя для нахождения затем локальных перегревов.