| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кабак, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-11-24T06:10:07Z | - |
| dc.date.available | 2021-11-24T06:10:07Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Кабак, Т. В. Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Advances in Science and Technology : сборник статей XL Международной научно-практической конференции, Москва, 31 октября 2021. – Москва, 2021. – С. 26–27. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45986 | - |
| dc.description.abstract | Исследован фрагмент вертикального сечение ИМС, изучены геометрические параметры контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Научно-издательский центр «Актуальность.РФ» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | электронные устройства | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | ионные пучки | ru_RU |
| dc.subject | ионные микроскопы | ru_RU |
| dc.title | Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
