https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45986| Title: | Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком |
| Authors: | Кабак, Т. В. Петлицкая, Т. В. |
| Keywords: | публикации ученых;электронные устройства;интегральные микросхемы;ионные пучки;ионные микроскопы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Научно-издательский центр «Актуальность.РФ» |
| Citation: | Кабак, Т. В. Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Advances in Science and Technology : сборник статей XL Международной научно-практической конференции, Москва, 31 октября 2021. – Москва, 2021. – С. 26–27. |
| Abstract: | Исследован фрагмент вертикального сечение ИМС, изучены геометрические параметры контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45986 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kabak_Analiz1.pdf | 1.26 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.