Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45986
Title: Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком
Authors: Кабак, Т. В.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: публикации ученых
электронные устройства
интегральные микросхемы
ионные пучки
ионные микроскопы
Issue Date: 2021
Publisher: Научно-издательский центр «Актуальность.РФ», РФ
Citation: Кабак, Т. В. Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Advances in Science and Technology : сборник статей XL Международной научно-практической конференции, Москва, 31 октября 2021. – Москва, 2021. – С. 26–27.
Abstract: Исследован фрагмент вертикального сечение ИМС, изучены геометрические параметры контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45986
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Analiz1.pdf1.26 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.