Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46027
Title: Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники
Authors: Достанко, А. П.
Богуш, Н. В.
Бордусов, С. В.
Василевич, В. П.
Гульпа, Д. В.
Збышинская, М. Е.
Ковальчук, Н. С.
Кузьмар, И. И.
Кушнер, Л. К.
Ланин, В. Л.
Мадвейко, С. И.
Петлицкий, А. Н.
Петухов, И. Б.
Соловьев, Я. А.
Телеш, Е. В.
Тихон, О. И.
Keywords: публикации ученых;субмикронная электроника;микроэлектроника;полупроводниковая микроэлектроника
Issue Date: 2021
Publisher: Бестпринт, РБ
Citation: Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, В. Л. Ланина ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : Бестпринт, 2021. – 270 с.
Abstract: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области формирования контактно-барьерных структур в изделиях субмикронной электроники и оборудования для микроэлектронного про-изводства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженер-но-технических работников предприятий электронной промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46027
ISBN: 978-985-7267-10-1
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kontaktno_barernie.pdf4.26 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.