https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46027| Title: | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники |
| Authors: | Достанко, А. П. Богуш, Н. В. Бордусов, С. В. Василевич, В. П. Гульпа, Д. В. Збышинская, М. Е. Ковальчук, Н. С. Кузьмар, И. И. Кушнер, Л. К. Ланин, В. Л. Мадвейко, С. И. Петлицкий, А. Н. Петухов, И. Б. Соловьев, Я. А. Телеш, Е. В. Тихон, О. И. |
| Keywords: | публикации ученых;субмикронная электроника;микроэлектроника;полупроводниковая микроэлектроника |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Бестпринт |
| Citation: | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, В. Л. Ланина ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : Бестпринт, 2021. – 270 с. |
| Abstract: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области формирования контактно-барьерных структур в изделиях субмикронной электроники и оборудования для микроэлектронного про-изводства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженер-но-технических работников предприятий электронной промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46027 |
| ISBN: | 978-985-7267-10-1 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kontaktno_barernie.pdf | 4.26 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.