Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4614
Title: Емкостные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия
Authors: Чушкова, Д. И.
Keywords: авторефераты диссертаций;твердотельная электроника;наноэлектроника
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Чушкова, Д. И. Емкостные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Д. И. Чушкова ; науч. рук. А. В. Короткевич. - Мн.: БГУИР, 2015. - 10 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4614
Appears in Collections:1-41 80 01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Автореферат.pdf394.58 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.